選擇氣體質(zhì)量流量控制器和訂貨時(shí)應當注意什么?
(1) 注意選擇正確的品牌
一般應當衡量生產(chǎn)廠(chǎng)家的產(chǎn)品質(zhì)量﹑銷(xiāo)售價(jià)格﹑售后服務(wù)﹑技術(shù)水平﹑產(chǎn)品特點(diǎn)﹑生產(chǎn)規模﹑企業(yè)信譽(yù)等因素。
(2) 注意選擇正確的工作壓力指標
不同的產(chǎn)品工作壓力指標可能不同,注意選擇適合自己的產(chǎn)品。質(zhì)量流量控制器(MFC)除耐壓之外,還有另一項工作壓力指標:工作壓差,即MFC進(jìn)氣端和出氣端之間的壓差,選型時(shí)要注意,使用時(shí)也要注意。
(3) 注意選擇合適氣體、流量規格、精度和接頭形式和接口尺寸。
除了氣體種類(lèi),流量范圍外準確度和接頭形式也很重要,常見(jiàn)的接頭形式有卡套接頭和VCR接頭,接口尺寸有公制Φ3、Φ6、Φ10;英制1/8、1/4、1/2英寸的和法蘭接頭。具體接口尺寸需要根據流量范圍來(lái)定制。
氣體質(zhì)量流量控制器應用領(lǐng)域
氣體質(zhì)量流量控制器用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密的測量和控制。其廣泛應用于半導體和集成電路工藝、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)并在其中起著(zhù)重要的作用。典型的應用場(chǎng)合包括微電子工藝設備,如擴散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入;以及真空鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統、氣體取樣、毛細管測量、氣象色譜儀及其他分析儀器。
質(zhì)量流量控制器能用比例閥代替嗎?
不可以的,一般我們常說(shuō)的比例閥就是電磁調節閥,雖然可以起到一定的流量調節作用,但無(wú)法做到準確,穩定的流量控制,而氣體質(zhì)量流量控制器(MFC)是在電磁調節閥的基礎上增加了控制電路和流量檢測傳感器和比例分流,是可以實(shí)現準確、穩定的流量控制,并且可以將流量信號穩定持續輸出成電壓信號或電流信號,比例閥根本滿(mǎn)足不了MFC能起到的作用。